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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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368 |
rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다.
[1] | 1374 |
367 |
Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요?
[1] | 2017 |
366 |
ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage
[1] | 1605 |
365 |
sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지
[1] | 2172 |
364 |
Remote Plasma 가 가능한 이온
[1] | 1677 |
363 |
CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요
[1] | 1770 |
362 |
DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다.
[1] | 732 |
361 |
안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다.
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플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요.
[1] | 1183 |
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DC bias (Self bias)
[3] | 10905 |
358 |
ICP와 CCP의 차이
[3] | 12040 |
357 |
새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서
[1] | 746 |
356 |
RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다.
[1] | 1683 |
355 |
Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다.
[1] | 9392 |
354 |
수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다.
[3] | 2452 |
353 |
ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다.
[2] | 1780 |
352 |
Impedence 위상관련 문의..
[1] | 1392 |
351 |
조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문
[1] | 538 |
350 |
RIE에 관한 질문이 있습니다.
[1] | 2409 |
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RF frequency와 RF power 구분
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공정 플라즈마와 관련된 강의는 학회 및 교육기관에서 외부인을 대상으로 진행하는 강의를 수강하는 편이 좋을 것 같습니다. 해당 강의0 들은 현업의 사례에서 다루는 플라즈마를 소개할 것입니다. 예전에는 한국기술교육대학에서 정기적인 강의가 있었고 최근에 학회에서 진행되는 강의는 진공학회 (www.kvs.or.kr) 춘계 학술대회 기간 중 (2017년 2월 15일(수) ~ 2월 17일(금)/ 강원도 횡성) 목요일에 "플라즈마 진단" 주제의 기술 심포지움이 있습니다. 참고하세요. 아울러 공정 플라즈마 관련 대학원생들에게 제공된 강의인 PSES-net 플라즈마 교육 프로그램이 올해 진행되면 저희 홈페이지에서 공지를 할 것이 참고하시기 바랍니다.
또한 참고로 추천드릴 교재는 정진욱교수님 역저인 "공정플라즈마 기초와 응용"이 있고, 심화 과정으로는 Principles of plasma discharges and material processings (Lieberman and Lichtenberg) 교재를 권합니다.