ATM Plasma 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다.
2014.06.20 14:08
안녕하세요. 대기압 플라즈마 관련 회사를 다니고 있는 청년입니다.
최근에 보다 높은 밀도의 플라즈마를 얻기 위한 공부를 하고 있습니다.
플라즈마의 밀도가 높아지면 라디컬의 밀도도 높아지고 그에 따라 처리효과 (예를 들면 오염물 제거) 도 좋아 질 것이라고 생각합니다.
특허에 있는 방법으로는 반응기 자체를 가열 하는 방법이 있었습니다.
그외에 플라즈마 밀도를 높이기 위한 방법은 없는지 궁금합니다.
플라즈마에 대한 지식이 짧아 질문이 정확하지 못합니다. 죄송합니다 ㅠㅠ
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] | 76539 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20076 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57115 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68613 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91695 |
403 | Collisional mean free path 문의... [1] | 775 |
402 | Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] | 2295 |
401 | 플라즈마 색 관찰 [1] | 4191 |
400 | 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] | 14135 |
399 | langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] | 1009 |
398 | DC Plasma 전자 방출 메커니즘 | 1028 |
397 | 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! | 24120 |
396 | MATCHER 발열 문제 [3] | 1425 |
395 | 플라즈마 기초입니다 [1] | 1279 |
394 | O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] | 1550 |
393 | CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] | 1594 |
392 | 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] | 1776 |
391 | PR wafer seasoning [1] | 2694 |
390 | 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] | 6535 |
389 | 플라즈마 기본 사양 문의 [1] | 614 |
388 | RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다. [1] | 1870 |
387 | wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] | 1770 |
386 | VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] | 2853 |
385 | 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] | 982 |
384 | ICP 후 변색 질문 | 722 |
대기압 소스 방식에 대해서 잘 리뷰가 되어 있는 교재로는
J. Reece Roth 의 Industrial Plasma Engineering (Vol 1 and 2), Institute of Physic Publishing 을 추천합니다.