번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [129] 5614
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16910
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51350
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64216
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84236
312 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 2102
311 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2094
310 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2065
309 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2059
308 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 2057
307 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 2032
306 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2025
305 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2005
304 Wafer particle 성분 분석 [1] 1975
303 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 1965
302 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] 1958
301 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 1952
300 플라즈마볼 제작시 [1] file 1932
299 Si Wafer Broken [2] 1911
298 Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] 1884
297 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 1849
296 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 1848
295 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 1831
294 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 1827
293 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 1813

Boards


XE Login