ESC 정전척 isolation 문의 입니다.

2013.08.29 16:00

정영석 조회 수:7127

안녕하세요

이번에 정전척부분을 설계하게 되었습니다.

정전척과 cooling plate는 연결되어 있고 그 조립품은 챔버와 isolation시켜야 한다는데 그 이유가 궁금합니다.

또 isolator는 얼마만큼의 두께로 선정해야 하는지 궁금합니다.

isolator의 재질은 ptfe를 사용하려고 합니다.

선정공식이나 선정 근거에 대한 도움부탁드립니다.

안녕히계세요.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [113] 4954
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16322
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51258
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63781
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83586
299 DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [2] 2974
298 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 2569
297 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. 9538
296 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 7021
295 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] 1171
294 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1436
293 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2047
292 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] 1289
291 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2311
290 수중 방전 관련 질문입니다. [1] 9292
289 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 1963
288 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1731
287 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2370
286 자료 요청드립니다. [1] 6022
285 ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 16298
284 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3046
283 저온 플라즈마에 관해서 [1] 5943
282 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1307
281 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3414
280 RF calibration에 대해 질문드립니다. 5305

Boards


XE Login