안녕하세요 김곤호 교수님.

저는 RF 관련 업무를 하는 회사원입니다.

다름이 아니라 RF calibration에 대해 질문 드리고 싶은데요,

RF calibration의 원리와 mechanism이 어떻게 되는건가요?

Open, short, load 소자에 대한 측정값과 기본 응답 값 사이의 차이를 계산해서 보상한다, cable길이에 의한 위상차를 보정하고 주변 잡음에 의한 영향을 상쇄하는 과정이다.

 

정도만 알고 있고, 자세한 메커니즘은 찾아보기 힘들어 질문 드립니다. 그러다보니 캘리브레이션을 할 때 기계적으로 버튼을 누른다는 생각을 지울수가 없네요...

 

calibration 되는 메커니즘에 대한 설명 부탁드립니다!

더불어 고주파(수M~수백MHz) 수준의 주파수를 cal할때 주의점이 있다면, 주의점도 알려주시길 부탁드립니다

 

감사합니다. 새해복많이 받으십시오

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] 73074
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17640
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55521
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65724
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86100
327 RPS를 이용한 NF3와 CF4 Etch Rate 차이 [4] 5451
326 핵융합 질문 [1] 399
325 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 540
324 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1670
323 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7411
322 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1115
321 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1288
320 SiO2 식각 위한 Remote Plasma Source관련 질문 드립니다. [1] 4129
319 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] file 5130
318 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 6518
317 모노실란(SiH4) 분해 메카니즘 문의 5731
316 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2132
315 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [1] 3165
314 Ar plasma power/time [1] 1270
313 RPSC 관련 질문입니다. [2] 3285
312 안녕하세요 반도체 공정 중 용어의 개념이 헷갈립니다. [1] 15796
311 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1280
310 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 6267
309 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1636
308 N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] 9653

Boards


XE Login