Collision 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다.
2014.05.02 15:51
플라즈마를 이용해서 가스 분해를 해봤는데요
분광진단을 통해서 플라즈마 토치의 위치별 분해된 종들의 rotational temperature를 측정해 봤습니다.
근데 어떤 한 분해종이 플라즈마 토치중심부에서 위로 올라갈수록 온도가 올라가는 경향이 타나났습니다.
이런 현상이 나타나는 원인이 무엇인가요? 몇번을 측정해도 같은 결과가 나오더군요
혹시 rotational temperature가 밀도와 관련이 있나요? 그 분해종은 저온영역에서 밀도가 급속도로 높아지는 경향이 보이거든요
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] | 76540 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20076 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57115 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68613 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91695 |
403 | Collisional mean free path 문의... [1] | 775 |
402 | Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] | 2296 |
401 | 플라즈마 색 관찰 [1] | 4193 |
400 | 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] | 14135 |
399 | langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] | 1009 |
398 | DC Plasma 전자 방출 메커니즘 | 1028 |
397 | 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! | 24120 |
396 | MATCHER 발열 문제 [3] | 1425 |
395 | 플라즈마 기초입니다 [1] | 1279 |
394 | O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] | 1550 |
393 | CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] | 1594 |
392 | 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] | 1777 |
391 | PR wafer seasoning [1] | 2694 |
390 | 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] | 6535 |
389 | 플라즈마 기본 사양 문의 [1] | 614 |
388 | RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다. [1] | 1871 |
387 | wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] | 1771 |
386 | VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] | 2853 |
385 | 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] | 982 |
384 | ICP 후 변색 질문 | 722 |