Matcher 13.56MHz resonator 해석 관련 문의

2014.07.10 20:00

ㅇㅇ 조회 수:1946

안녕하세요

다름이 아니오라 제가 플라즈마 장비에 장착된 13.56MHz resonator 해석중인데요.ㅎ

혹시 HFSS를 이용하여 해석해 보신 경험이 있으신지요?

만약에 있으시거나 도움을 받을 만한 것들이 있다면 알려주시면 감사하겠습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76538
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91694
404 OES 원리에 대해 궁금합니다! [1] 26024
403 Collisional mean free path 문의... [1] 775
402 Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] 2295
401 플라즈마 색 관찰 [1] 4191
400 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] 14135
399 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 1009
398 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1028
397 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! 24120
396 MATCHER 발열 문제 [3] 1425
395 플라즈마 기초입니다 [1] 1279
394 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1549
393 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1594
392 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1772
391 PR wafer seasoning [1] 2694
390 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] 6534
389 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 614
388 RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다. [1] 1870
387 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1770
386 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 2851
385 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 982

Boards


XE Login