안녕하세요 김곤호 교수님.

저는 코로나 방전 공부를 하고 있는 대학원생입니다.

저번에 재료에 따른 이온풍에 대해 질문했었는데요 오늘은 다른 질문을 하러 왔습니다.

저는 wire-plate로 전극을 구성해서 wire에 +극 고전압을 인가해서 코로나 방전을 시키고 있습니다.

이번에 재료를 바꾸면서 실험을 했었는데 이해가 잘 되지 않은 부분이 있습니다.

저는 플라즈마 공간 유지에 있어서 wire의 재질특성이 이온화 에너지가 낮아야 방전이 잘되고 plate의 재질특성이 전기전도도가 낮아야 플라즈마 공간이 잘 유지된다고 생각하고 있습니다.

wire의 재질이 이온화 에너지가 낮아야 된다고 생각한 이유는 이온화 에너지가 낮을 수록 방전 개시전압이 낮아지고 그만큼 플라즈마 공간 형성이 용이 하다고 생각했기 때문입니다.

다음으로 plate의 재질이 전기전도도가 낮아야 된다고 생각한 이유는 전기전도도가 높으면 방전이 일어나면서 plate로 손실되는 에너지가 클 것이라고 생각했기 때문입니다.

하지만 막상 실험을 해본결과 이온화에너지가 가장 낮은 은보다 니켈이 더 성능이 좋았고, 전기전도도가 낮은 텅스텐보다 은이 성능이 더 좋았습니다.

혹시 제가 모르는 다른 요소가 있거나 제가 잘못생각한 점이 있다면 설명해주시면 감사하겠습니다.


번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
403 RF matcher와 particle 관계 [2] 2856
402 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 2853
401 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2849
400 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2805
399 임피던스 매칭회로 [1] file 2789
398 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2719
397 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2716
396 PR wafer seasoning [1] 2694
395 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2674
394 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 2667
393 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 2662
392 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2617
391 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2602
390 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2571
389 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2565
388 질문있습니다. [1] 2544
387 Si Wafer Broken [2] 2472
386 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2469
385 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2451
384 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 2423

Boards


XE Login