Others 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다.
2017.01.04 11:49
안녕하세요 RGA에 관하여 궁금한 점이 있습니다.
지금 저희가 사용하는 RGA는 인피콘 Transpector MPH 이고 SUS진공챔버에 사용하고 있습니다.
RGA 운용은 -3~4Pa 이하대에서 진행하고 있고 SUS챔버 Baking 시 잔류가스분석에 사용하고 있습니다.
한번 사용 할 때마다 70시간 정도씩 외벽90도(내벽130도)로 사용하고 있는데 이온소스가 오염되는 현상이 일어나고 있습니다.
혹시 RGA 이온소스 오염 원인에 대해서 알 수 있을까요?
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군산대학교의 주정훈교수님께 문의해 보기 바랍니다. 좋은 답변을 주실 것으로 기대되며, 답변을 받으시면 답변과 함께 계측기 제조사 답변도 본 웹에 같이 올려 놓아 주시면 모두에게 도움이 될 것 같습니다.