Others 문의 드립니다.

2017.03.23 15:40

메탈 조회 수:805

안녕하세요. 반도체 회사 근무중인 송용재입니다.


3가지 질문을 드리려고 합니다.


염근영 교수님 플라즈마 식각 기술이라는 책을 구매하여 보고있는데 제 실력이 부족해서 이해가 되지않아 질문 남깁니다.


1.  이온의 속도는 왜 전자의 온도로 결정되는건가요? 공식은 알겠지만 .. 메카니즘이 이해되지 않아 질문 남깁니다.


2. RF 등가회로는 왜 저항으로 표기 되는건가요??


3. 파센법칙 관련해서 질문드립니다.

    진공상태에서 거리가 멀어지는데 왜 입자수가 증가되는건가요?

     입자간의 전기장은 전자의 가속과 왜 관계가 있는건가요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [220] 75427
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19163
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56479
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67558
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 89368
368 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1374
367 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 2017
366 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1605
365 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] 2172
364 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1677
363 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1770
362 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 732
361 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1091
360 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1183
359 DC bias (Self bias) [3] 10903
358 ICP와 CCP의 차이 [3] 12040
357 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 746
356 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1683
355 Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] 9392
354 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2452
353 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1780
352 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1392
351 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 538
350 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2407
349 RF frequency와 RF power 구분 38924

Boards


XE Login