Plasma Source Plasma Generator 관련해서요. [Matcher 성능 개선]
2018.10.24 11:25
안녕하세요.
플라즈마 관련 직종에서 근무하고 있는 초보 직장인입니다.
한가지 질문 드릴게 있어서요,
Generator 하나를 사용하는데 Cable을 분기 시켜서
두개의 matching box로 가게 가능 할까요?
즉 Generator 하나를 사용하여 각각 다른 위치에 존재하는 Part를 클리닝 하고 싶어서요.
이게 실제 이론적으로 회로상으로 Relay를 줘서 분기 시켜서
어쩔때는 Mater1으로 가고, 어쩔때는 Matcher2로 가는게 가능할까요?
관련 내용을 찾다가 갑자기 궁금해서 질문 드립니다.
가능하지 않을 이유가 없을 것 같습니다만, matcher 동작이 매우 어색할 것 같고, 공정 제어에 matcher의 성능은 매우 중요한 인자이므로 metcher 반응을 늦게 만드는 요인은 가능한 제거하는 것이 좋을 것 같습니다.