Plasma in general 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다.
2018.11.16 10:35
저희는 PT 처리를 위해 CCP 플라즈마를 사용하고 있습니다.
약 -7승 정도의 진공도의 챔버에서 ITO세정용으로 플라즈마 처리를 하고 있습니다.
제가 궁금한 것은 먼저
1. 표시되는 압력의 의미가 궁금합니다. mTorr이 플라즈마 내부로 유입된 기체(질소)가 나타내는 압력을 의미하는 것 맞나요?
그렇다면 챔버 내 압력 = 플라즈마의 압력 이라고 봐도 무방할까요
2. self bias값이 파워(W)가 증가할수록, 압력(mTorr)이 낮아질수록 증가하는데 그 이유를 알고 싶습니다.
3. 나타나는 값중 position이라는 값이 있습니다. 평소에는 position 값이 100을 유지하다가 플라즈마 처리를 위해
기체를 유입하면 그 값이 떨어지고 일정한 값을 유지를 하는데 이 position이 무엇을 뜻하는지 알고 싶습니다.
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