Etch Plasma 식각 test 관련 문의
2021.12.13 16:57
안녕하세요.
플라즈마 식각 중량변화 테스트를 O2가스와 NF3,AR(3:1) 비중으로 60분동안 200W전력 조건으로
제품은 불소고무 O-RING 입니다.
할 수 있는곳이 있을까요??
도움 부탁드리겠습니다..
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [267] | 76710 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20162 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57162 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68684 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92246 |
| 408 | 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? | 2327 |
| 407 | 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] | 2329 |
| 406 | CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] | 2340 |
| 405 | Ta deposition시 DC Source Sputtreing | 2360 |
| 404 | RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] | 2377 |
| 403 | RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] | 2386 |
| 402 | plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] | 2431 |
| 401 | Load position 관련 질문 드립니다. [1] | 2435 |
| 400 | [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] | 2448 |
| 399 | 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] | 2470 |
| 398 | 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] | 2491 |
| 397 | Si Wafer Broken [2] | 2508 |
| 396 | 질문있습니다. [1] | 2569 |
| 395 |
안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출)
[1]  | 2579 |
| 394 | 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] | 2581 |
| 393 | RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] | 2628 |
| 392 | 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] | 2638 |
| 391 | 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] | 2685 |
| 390 | PR wafer seasoning [1] | 2700 |
| 389 | 플라즈마 압력에 대하여 [1] | 2727 |
플라즈마 데이터를 기반으로 처리 결과를 자료화 해야 할 것 같습니다.
일반 연구실 보다는 표준연에서 가능할지 모르겠네요. 표준연 이효창박사님 연구실 또는 핵융합연구소의 장비 지능화 연구센터 (윤정식박사) 팀에 문의해 보시면 어떨까 합니다.