kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
2009.11.17 16:06
안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다
a) the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.
b) the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV
Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다.
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [235] | 75769 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19454 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56673 |
| » | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68032 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 90327 |
| 378 | VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] | 2731 |
| 377 | Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] | 2717 |
| 376 | Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] | 2680 |
| 375 |
임피던스 매칭회로
[1]  | 2675 |
| 374 | 플라즈마 압력에 대하여 [1] | 2675 |
| 373 | PR wafer seasoning [1] | 2650 |
| 372 | 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] | 2614 |
| 371 | PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] | 2575 |
| 370 | 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] | 2554 |
| 369 | 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] | 2507 |
| 368 | RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] | 2472 |
| 367 |
안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출)
[1] | 2462 |
| 366 | 질문있습니다. [1] | 2450 |
| 365 | RF matcher와 particle 관계 [2] | 2420 |
| 364 | 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] | 2365 |
| 363 | plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] | 2362 |
| 362 | 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] | 2361 |
| 361 | Ta deposition시 DC Source Sputtreing | 2343 |
| 360 | Load position 관련 질문 드립니다. [1] | 2340 |
| 359 | 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] | 2339 |