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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64497
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318 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2230
317 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 2212
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315 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2178
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312 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 2119
311 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2110
310 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2080
309 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2076
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307 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2024
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304 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 1995
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302 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 1973
301 Si Wafer Broken [2] 1967
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