Chamber Impedance chamber impedance

2019.09.24 15:45

nok73 조회 수:1638

안녕하십니까? 교수님, 


ALD 챔버를 제작되기 전에 매쳐 설계를 해야 하는 상황이어서 질문 드립니다. 

알루미늄 챔버의 사이즈, 전극사이즈, 웨이퍼사이즈, 전극과 웨이퍼 간격, 압력등의 정보를 가지고 챔버임피던스 계산이 가능 한지요? 

또한 시뮬레이션 하는 툴이 있을까요? 

답변을 부탁 드립니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [102] 3672
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 15355
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50581
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63008
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 82184
289 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 1916
288 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 1912
287 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 1897
286 Wafer particle 성분 분석 [1] 1891
285 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] 1877
284 플라즈마볼 제작시 [1] file 1852
283 Load position 관련 질문 드립니다. [2] 1790
282 Si Wafer Broken [2] 1787
281 가입인사드립니다. [1] 1786
280 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 1785
279 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 1779
278 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 1749
277 Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] 1737
276 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1705
275 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 1690
274 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 1689
273 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 1678
» chamber impedance [1] 1638
271 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1584
270 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] 1573

Boards


XE Login