ATM Plasma 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다.

2012.08.01 13:40

케빈 조회 수:7999

안녕하세요

상압 플라즈마와 관련하여 몇가지 문의 드릴려고 합니다.

1. 헬륨 가스를 이용하여 상압 플라즈마를 발생 시켰을때, 헬륨 이온이 생성 될때 발생하는

    전자로 인하여 공기중의 다른 원소들이 이온화 된다고 알고 있습니다. 그럼 이온화된

    헬륨은 인체 또는 공기에 어떤 영향을 끼치는지 문의 드립니다.

 

2. 텅스텐을 세라믹으로 감싼 전극과 아노다이징 된 알루미늄 사이(0.5mm)에 물 미립자를 통과 시켜서

    -OH 라디칼 이온을 만들려고 했는데, 오존이 종종 발생 됩니다. 전극에서 전달된 에너지가

    -OH 라디칼 이온과 오존 중 어떤 걸 먼저 만들어 내는지 알 수 있을까 해서요..

 

우선은 두가지 문의 드립니다.

제 이메일 주소는 vngkgk11@gmail.com 입니다.

 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [179] 74881
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 18735
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56223
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 66684
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 87991
317 자료 요청드립니다. [1] 6117
316 O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] 6191
315 저온 플라즈마에 관해서 [1] 6262
314 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6277
313 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6312
312 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] 6314
311 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] 6361
310 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6365
309 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] 6407
308 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 6423
307 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] 6499
306 안녕하세요, 질문드립니다. [2] 6527
305 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 6753
304 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 7043
303 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7331
302 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7448
301 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] 7622
300 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] 7725
299 MFP에 대해서.. [1] 7729
298 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 7743
쓰기
태그

Boards

XE Login