안녕하세요. 대기압 플라즈마 관련 회사를 다니고 있는 청년입니다.

최근에 보다 높은 밀도의 플라즈마를 얻기 위한 공부를 하고 있습니다.

플라즈마의 밀도가 높아지면 라디컬의 밀도도 높아지고 그에 따라 처리효과 (예를 들면 오염물 제거) 도 좋아 질 것이라고 생각합니다.

특허에 있는 방법으로는 반응기 자체를 가열 하는 방법이 있었습니다.

그외에 플라즈마 밀도를 높이기 위한 방법은 없는지 궁금합니다.

플라즈마에 대한 지식이 짧아 질문이 정확하지 못합니다. 죄송합니다 ㅠㅠ

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76540
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
383 Plasma etcher particle 원인 [1] 2924
382 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] 2292
381 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 340
380 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 4294
379 Plasma 에서 Coupled (결합) 의 의미 [1] 1017
378 고진공 만드는방법. [1] 1001
377 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] 423
376 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 689
375 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 1317
374 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 467
373 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 757
372 SiO2를 Etching 할 시 NF3 단독 보다 O2를 1:1로 섞을시 Etching이 잘되는 이유 [1] file 5734
371 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2716
370 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 3379
369 활성이온 측정 방법 [1] 570
368 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1449
367 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 2199
366 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1716
365 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] 2294
364 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1903

Boards


XE Login