안녕하세요. 고려대학교 김동석 입니다.

스퍼터링 장비 사용 중 학술적인 문의사항이 있어 질문 드립니다. 


1. DC sputtering 사용 중 power supply에 표시되는 DC bias는 막질에 어떤 영향을 주나요?

    공부가 부족하여 단순히 Sheath에서 걸리는 전위차라고만 알고 있는데... 

    DC bias가 증가하는 경우와 감소하는 경우 성막에 어떠한 차이를 유발하는지 궁금합니다.


2. RF sputtering 에는 DC bias가 존재하나요?

    RF 스퍼터링의 경우 sheath가 생성되지 않으면 DC bias가 존재하지 않을텐데, 장비에는 어떤(?) 의미인지 모를

    bias가 표시되더라구요.. -40V 이런 식으로 말입니다. 이게 어떠한 의미를 담고 있는지 궁금합니다.


3. Matching box의 Ground는 어떤 영향을 줄 수 있나요?

    RF system의 접지를 floating으로 한 경우와, earth 를 잡았을 경우 어떠한 차이점이 있는지 궁금합니다.

    지면접지를 잡아야 한다면 다른 장비들과 어떤 식으로 연결해야 하는지.. 궁금합니다.


여러 자료를 찾아가며 공부하던 중, 토론방에 글을 올려봅니다. 

다른 글들도 읽어보았는데, 제가 플라즈마 전공자가 아니라서 잘 이해가 가지 않았어요..

많이 배워가겠습니다. ^^

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [128] 5604
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16885
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51347
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64210
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84186
291 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2390
290 수중 방전 관련 질문입니다. [1] 9325
289 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2005
288 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1756
287 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2424
286 자료 요청드립니다. [1] 6048
285 ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 16418
284 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3065
283 저온 플라즈마에 관해서 [1] 6032
282 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1317
281 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3433
280 RF calibration에 대해 질문드립니다. 5363
279 N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] file 8300
278 the lines of magnetic  induction are frozen into the perfectly conducting material에 대한 질문 [1] file 3952
277 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7175
276 Microwave 장비 관련 질문 [1] 8348
275 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] 7569
274 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] 8716
273 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 6568
272 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6230

Boards


XE Login