Skip to content
플홈
오시는 길
누구
질문방
검색
전체
Plasma in general
DC glow discharge
Collision
Sheath
Ion/Electron Temperature
Others
Plasma Source
ATM Plasma
CCP
ICP
Remote Plasma
Water Discharge Plasma
Others
Chamber component
Matcher
ESC
Pulse operation
Shower head
Chamber Impedance
Others
Monitoring Method
OES
Langmuir Probe
VI(Impedance) Sensor
B dot
Others
Process
Etch
Deposition
Sputtering
Ashing
Others
Others
저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다.
2015.10.12 15:35
최영호
조회 수:9842
안녕하십니까? 지방 국립대학교 석사생입니다.
저온 플라즈마 장비에 관련되서 질문 드리고자 합니다.
고온의 물체(공구날)를 냉각시키는 목적으로 저온 플라즈마 장비를 찾는 중입니다.
이러한 목적에 부합하는 장비에 대한 정보를 요청드립니다.
감사합니다.
댓글
0
목록
번호
제목
조회 수
공지
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[268]
76728
공지
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
20190
공지
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
57167
공지
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
68699
공지
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
92278
389
플라즈마 기본 사양 문의
[1]
615
388
RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다.
[1]
1889
387
wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상
[1]
1793
386
VI sensor를 활용한 진단 방법
[2]
2871
385
아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다.
[1]
999
384
ICP 후 변색 질문
725
383
Plasma etcher particle 원인
[1]
2965
382
PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성....
[1]
2312
381
Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정
341
380
ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할
4320
379
Plasma 에서 Coupled (결합) 의 의미
[1]
1028
378
고진공 만드는방법.
[1]
1008
377
PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요
[1]
423
376
플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성
[2]
694
375
플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다.
[1]
1319
374
Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다.
469
373
코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다
[1]
760
372
SiO2를 Etching 할 시 NF3 단독 보다 O2를 1:1로 섞을시 Etching이 잘되는 이유
[1]
5841
371
플라즈마 압력에 대하여
[1]
2727
370
RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다.
[1]
3407
Boards
Close Login Layer
XE Login
아이디
비밀번호
로그인 유지
회원가입
ID/PW 찾기
인증메일 재발송
Close Login Layer