CCP CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활

2016.12.15 13:35

4차원 조회 수:7649

안녕하세요?

제가 알기로는 CCP는 두 전극사이에서 플라즈마가 일어나는 것으로 알고 있는데, 만약 두 전극 사이에 유전체가 속해진다면, 이 유전체가 어떠한 역할을 하는지 알고 싶습니다. 

http://plasma.ee.pusan.ac.kr/xe/sou

위의 사이트에서 보니깐 CCP에 유전체가 원래 있는 것처럼 보이는데, 웹에서 다른 내용을 보면 유전체 이야기는 없는, 단지 두 개의 평행한 전극만 이야기하는 내용도 있어서 궁금해서 글을 올립니다.

감사합니다. 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76727
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20183
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57167
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68699
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92278
389 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2727
388 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 2742
387 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2765
386 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 2780
385 임피던스 매칭회로 [1] file 2804
384 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2819
383 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 2871
382 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2873
381 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2891
380 RF matcher와 particle 관계 [2] 2918
379 Plasma etcher particle 원인 [1] 2965
378 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 2972
377 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 3052
376 CVD 공정에서의 self bias [1] 3099
375 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 3162
374 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3165
373 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 3179
372 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 3193
371 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 3203
370 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 3273
쓰기
태그

Boards

XE Login