|
공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[266]
| 76647 |
|
공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20144 |
|
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 57146 |
|
공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
| 68668 |
|
공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
| 92120 |
|
387 |
고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이
[1] | 2749 |
|
386 |
PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문
[1] | 2751 |
|
385 |
임피던스 매칭회로
[1]  | 2798 |
|
384 |
Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다.
[2] | 2809 |
|
383 |
VI sensor를 활용한 진단 방법
[2] | 2865 |
|
382 |
HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요?
| 2866 |
|
381 |
HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의
[1] | 2885 |
|
380 |
RF matcher와 particle 관계
[2] | 2901 |
|
379 |
Plasma etcher particle 원인
[1] | 2956 |
|
378 |
Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다.
[1] | 2961 |
|
377 |
Plasma 에칭 후 정전기 처리
[3] | 3049 |
|
376 |
CVD 공정에서의 self bias
[1] | 3086 |
|
375 |
M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다.
[1] | 3157 |
|
374 |
matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다.
[3] | 3162 |
|
373 |
Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다.
[2] | 3162 |
|
372 |
아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서
| 3164 |
|
371 |
electron energy distribution에 대해서 질문드립니다.
[2] | 3188 |
|
370 |
PECVD Precursor 별 Arcing 원인
[1] | 3251 |
|
369 |
RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다.
[2] | 3269 |
|
368 |
Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다.
[2] | 3318 |
