30 kW급 공동형 (양 극 모두 구리) 플라즈마 토치를 운전하는데, 음극에서 구리 소모가 상당히 심하네요. 원래 음압에서 운전하도록 설계된 토치인데, 저희는 약간의 양압 상태에서 운전하고 있습니다. 0.2 bar정도...

플라즈마 소스는 알곤가스를 사용합니다. 냉각은 13도로 들어가서 15도 정도로 나오니... 잘 되는 것 같은데.... 구리가 많이 나오네요.

이런 경우는 어떤 대처가 필요할 까요? 궁금합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76543
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20078
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57116
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91697
363 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1861
362 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 792
361 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1133
360 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1268
359 DC bias (Self bias) [3] 11218
358 ICP와 CCP의 차이 [3] 12435
357 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 782
356 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1829
355 Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] 9510
354 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2617
353 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1944
352 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1456
351 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 574
350 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2604
349 RF frequency와 RF power 구분 39046
348 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2275
347 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2720
346 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 676
345 Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [1] 3491
344 O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] 6360

Boards


XE Login