Ion/Electron Temperature 저온 플라즈마에 관한 질문

2004.06.25 12:54

관리자 조회 수:18193 추천:239

안녕하세요.대학교 1학년 학생이고 플라즈마에 대해 혼자 공부하다 질
문이 생겨서 이렇게 글을 올립니다.
질문1)고온 플라즈마와 저온 플라즈마의 차이
질문2)환경보호에 고온 플라즈마는 쓰이지 않고 저온 플라즈마
만 쓰이는 이유
질문3)플라즈마가 환경을 보호하는데 어떻게 쓰이는지 구체적
인 매커니즘
질문 3은 꼭 답해주지 않으셔도 되구요. 추천할만한 책이나 사
이트 남겨주셔도 감사.. 메일로 보내주시면 더 감사...^-^




번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76728
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20190
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57167
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68699
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92278
369 활성이온 측정 방법 [1] 572
368 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1459
367 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 2227
366 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1737
365 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] 2314
364 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1942
363 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1870
362 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 800
361 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1141
360 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1291
359 DC bias (Self bias) [3] 11260
358 ICP와 CCP의 차이 [3] 12483
357 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 784
356 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1864
355 Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] 9519
354 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2644
353 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1973
352 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1463
351 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 576
350 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2633

Boards


XE Login