Sputtering 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다.
2012.04.01 11:51
ICP chamber 방식이며 Generator는 13.56MHz, 1.5kw두개를 사용할경우
matcher제작 or 분석을 하려는데 국내, 일본 회사에서는 불가능 할것 같다고 합니다.
미국의 AE, MKS를 제외하고 RF matcher나 Generator 방면에서 기술력을 갖고 있는
회사가 있을까요?
혹시 알고 계신곳이 있으면 가르쳐 주시면 감사하겠습니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [182] | 75012 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 18856 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56336 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 66833 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 88284 |
| 299 | 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] | 7737 |
| 298 | Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. | 7755 |
| 297 | ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] | 7821 |
| 296 | 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] | 8003 |
| 295 | 플라즈마 발생 억제 문의 [1] | 8013 |
| 294 | 고온 플라즈마 관련 | 8057 |
| 293 | Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] | 8213 |
| 292 |
N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다.
[1]  | 8426 |
| 291 | matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] | 8433 |
| 290 | Microwave 장비 관련 질문 [1] | 8442 |
| 289 | Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] | 8516 |
| 288 | Lecture를 들을 수 없나요? [1] | 8523 |
| 287 | 수중플라즈마에 대해 [1] | 8523 |
| 286 | 핵융합에 대하여 | 8535 |
| 285 | RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] | 8635 |
| 284 | Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] | 8696 |
| 283 | 안녕하세요 교수님. [1] | 8796 |
| 282 | 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] | 9004 |
| 281 | 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 | 9195 |
| 280 | 에칭후 particle에서 발생하는 현상 | 9273 |
국내회사로 '플라즈마트'란 회사가 있습니다. 아울러 독일계 회사로 '휘팅거-Huttinger' 등을 알고 있습니다. 도움이 되기를 바랍니다.