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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68689
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362 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 2209
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360 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 2126
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358 doping type에 따른 ER 차이 [1] 2049
357 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 2010
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355 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 2006
354 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 2003
353 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 1999
352 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1983
351 플라즈마 에칭 과 표면처리 의 차이점 질문드립니다. [1] 1983
350 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 1980
349 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1969
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