Others 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다.
2017.01.04 11:49
안녕하세요 RGA에 관하여 궁금한 점이 있습니다.
지금 저희가 사용하는 RGA는 인피콘 Transpector MPH 이고 SUS진공챔버에 사용하고 있습니다.
RGA 운용은 -3~4Pa 이하대에서 진행하고 있고 SUS챔버 Baking 시 잔류가스분석에 사용하고 있습니다.
한번 사용 할 때마다 70시간 정도씩 외벽90도(내벽130도)로 사용하고 있는데 이온소스가 오염되는 현상이 일어나고 있습니다.
혹시 RGA 이온소스 오염 원인에 대해서 알 수 있을까요?
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] | 76539 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20076 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57115 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68613 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91695 |
363 | 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] | 2243 |
362 | Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] | 2228 |
361 | 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] | 2225 |
360 | 플라즈마볼 제작시 [1] | 2214 |
359 | Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] | 2198 |
358 | ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] | 2176 |
357 | 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] | 2162 |
356 | N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] | 2115 |
355 | 플라즈마 관련 기초지식 [1] | 2092 |
354 | 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] | 2089 |
353 | doping type에 따른 ER 차이 [1] | 2038 |
352 | chamber impedance [1] | 2003 |
351 | 플라즈마 에칭 과 표면처리 의 차이점 질문드립니다. [1] | 1957 |
» | 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] | 1950 |
349 | ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] | 1949 |
348 | CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] | 1949 |
347 | 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] | 1946 |
346 | 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] | 1946 |
345 | RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] | 1944 |
344 | ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] | 1943 |
군산대학교의 주정훈교수님께 문의해 보기 바랍니다. 좋은 답변을 주실 것으로 기대되며, 답변을 받으시면 답변과 함께 계측기 제조사 답변도 본 웹에 같이 올려 놓아 주시면 모두에게 도움이 될 것 같습니다.