Ion/Electron Temperature 플라즈마 발생 억제 문의

2012.03.19 14:12

김진근 조회 수:8084

안녕하십니까

플라즈마 발생을 억제시킬수 있는 방법은 무엇인지 어쭙고자 글을 올리게 되었습니다.

고주파 유도가열(3MHz)을 이용하여 실리콘(Si)을 가열하여 아르곤 분위기에서 실리콘 결정성장을 시키고 있습니다.

(코일은 팬케이크 형태임.)결정 성장을 시킬때 가끔씩 코일에 플라즈마가 발생하며,이로인해 코일arcing이 가끔 발생하여 코일이

소손되는것 같습니다.

플라즈마 발생을 억제시킬수 있는 방법이 없을지 문의 드립니다.


이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [235] 75788
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19473
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56680
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68068
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 90361
318 자료 요청드립니다. [1] new 6167
317 O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] new 6252
316 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] new 6324
315 O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] new 6346
314 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] new 6385
313 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] new 6395
312 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] new 6400
311 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] new 6432
310 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] new 6435
309 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] new 6520
308 저온 플라즈마에 관해서 [1] new 6525
307 안녕하세요, 질문드립니다. [2] new 6552
306 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] new 6893
305 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] new 6904
304 정전척 isolation 문의 입니다. [1] new 7490
303 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] new 7561
302 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] new 7669
301 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] new 7720
300 MFP에 대해서.. [1] new 7787
299 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] new 7929
쓰기
태그

Boards

XE Login