ESC 정전척 isolation 문의 입니다.

2013.08.29 16:00

정영석 조회 수:7490

안녕하세요

이번에 정전척부분을 설계하게 되었습니다.

정전척과 cooling plate는 연결되어 있고 그 조립품은 챔버와 isolation시켜야 한다는데 그 이유가 궁금합니다.

또 isolator는 얼마만큼의 두께로 선정해야 하는지 궁금합니다.

isolator의 재질은 ptfe를 사용하려고 합니다.

선정공식이나 선정 근거에 대한 도움부탁드립니다.

안녕히계세요.

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