ESC 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다.
2011.04.05 11:28
안녕하세요. 반도체 장비회사에 재직중인 직장인 입니다.
O2 plasma 관련 글을 검색하다가, O2 plasma 에는 음이온이 다수 존재하여 Matching 조건이 다른 Plasma 와 조금
다를 수 있다는 내용을 보았는데요..
현재 O2 Plasma 를 사용하는 Ashing 공정에서 ESC 를 인가하는 조건과 인가하지 않는 조건 간에 Matching trend 가 매우
다른 현상이 발견되고 있습니다. ESC 에 인가되는 + DC Power 와 음이온 발생 분위기와 어떠한 상관 관계가 있는지 궁금
합니다. 실제로 ESC 에 인가되는 +DC 전압이 Chamber 내부의 음이온 발생 정도와 관계가 있을 수 있는지요?
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] | 76541 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20077 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57115 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68615 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91697 |
343 | Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] | 8559 |
342 | 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] | 1889 |
341 | 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] | 429 |
340 | 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] | 911 |
339 | RF power에 대한 설명 요청드립니다. [1] | 5116 |
338 | 가입인사드립니다. [1] | 1880 |
337 | 문의 드립니다. [1] | 858 |
336 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 650 |
335 | dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] | 1395 |
334 | O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] | 1414 |
333 | DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] | 1007 |
332 | O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [2] | 6125 |
331 | 강의를 들을 수 없는건가요? [2] | 1442 |
330 | 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate | 373 |
329 | 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] | 5869 |
328 | 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] | 940 |
327 | RPS를 이용한 NF3와 CF4 Etch Rate 차이 [4] | 6201 |
326 | 핵융합 질문 [1] | 561 |
325 | Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] | 633 |
324 | 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] | 1950 |