Others VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다.

2012.09.07 03:25

ysppaku 조회 수:54893

안녕하세요. 반도체에 종사하는 엔지니어입니다.

플라즈마에 대한 기초지식이 없어 설비 Trace 하는데 어려움이 있어 도움 요청합니다.

질문

1.VPP가 어떤건지?

2.VDC가 어떤건지?

3.VPP 정상 Trend에서 High Hunting 발생한 경우 왜 그런지?

4.VPP 정상 Trend에서 Low Hunting 발생한 경우 왜 그런지?

5.VDC 정상 Trend에서 High Hunting 발생한 경우 왜 그런지?

6.VDC 정상 Trend에서 Low Hunting 발생한 경우 왜 그런지?

7.플라즈마는 압력,TEMP에 대해서 어떻게 변하는지?

위 7개 항목에 대해서 알고 싶습니다.

참고. 반도체 Batch 장비 , ALD막 생성에 쓰이는 장비입니다.

정말 감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76727
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20183
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57167
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68699
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92278
349 RF frequency와 RF power 구분 39063
348 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2281
347 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2765
346 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 679
345 Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [1] 3527
344 O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] 6409
343 Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] 8594
342 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1900
341 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 432
340 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 920
339 RF power에 대한 설명 요청드립니다. [1] 5151
338 가입인사드립니다. [1] 1880
337 문의 드립니다. [1] 868
336 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 657
335 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] file 1402
334 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1423
333 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 1021
332 O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [2] 6179
331 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1445
330 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 373
쓰기
태그

Boards

XE Login