30 kW급 공동형 (양 극 모두 구리) 플라즈마 토치를 운전하는데, 음극에서 구리 소모가 상당히 심하네요. 원래 음압에서 운전하도록 설계된 토치인데, 저희는 약간의 양압 상태에서 운전하고 있습니다. 0.2 bar정도...

플라즈마 소스는 알곤가스를 사용합니다. 냉각은 13도로 들어가서 15도 정도로 나오니... 잘 되는 것 같은데.... 구리가 많이 나오네요.

이런 경우는 어떤 대처가 필요할 까요? 궁금합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76714
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20170
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57164
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68695
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92271
348 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2281
347 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2764
346 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 679
345 Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [1] 3524
344 O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] 6406
343 Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] 8594
342 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1900
341 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 432
340 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 918
339 RF power에 대한 설명 요청드립니다. [1] 5147
338 가입인사드립니다. [1] 1880
337 문의 드립니다. [1] 867
336 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 657
335 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] file 1402
334 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1423
333 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 1021
332 O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [2] 6175
331 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1444
330 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 373
329 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] 5900

Boards


XE Login