Others 석영이 사용되는 이유?

2010.04.16 19:26

최영익 조회 수:20018 추천:151

안녕하세요. 플라즈마를 공부하는 최영익이라고 합니다.

plasma device들 중에 석영을 주로 쓰는 경우가 있는데 특별한 이유가있는지요?

플라즈마 발생장치 중에 석영관 사이에서 방전을 한다거나

안테나가 석영관 뒤에 있는 경우가 있는데

석영이 선택되는 특별한 이유가 있는지요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76712
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20164
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57164
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68688
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92255
328 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 961
327 RPS를 이용한 NF3와 CF4 Etch Rate 차이 [4] 6243
326 핵융합 질문 [1] 567
325 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 636
324 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1961
323 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7649
322 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1271
321 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1407
320 SiO2 식각 위한 Remote Plasma Source관련 질문 드립니다. [1] 5265
319 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] file 5991
318 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 8126
317 모노실란(SiH4) 분해 메카니즘 문의 6068
316 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2492
315 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [1] 3893
314 Ar plasma power/time [1] 1436
313 RPSC 관련 질문입니다. [2] 4008
312 안녕하세요 반도체 공정 중 용어의 개념이 헷갈립니다. [1] 17439
311 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1386
310 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 7223
309 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1950

Boards


XE Login