Ion/Electron Temperature 플라즈마 발생 억제 문의

2012.03.19 14:12

김진근 조회 수:8059

안녕하십니까

플라즈마 발생을 억제시킬수 있는 방법은 무엇인지 어쭙고자 글을 올리게 되었습니다.

고주파 유도가열(3MHz)을 이용하여 실리콘(Si)을 가열하여 아르곤 분위기에서 실리콘 결정성장을 시키고 있습니다.

(코일은 팬케이크 형태임.)결정 성장을 시킬때 가끔씩 코일에 플라즈마가 발생하며,이로인해 코일arcing이 가끔 발생하여 코일이

소손되는것 같습니다.

플라즈마 발생을 억제시킬수 있는 방법이 없을지 문의 드립니다.


이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [220] 75432
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19167
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56480
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67563
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 89370
288 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1878
287 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2586
286 자료 요청드립니다. [1] 6143
285 ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 16749
284 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3137
283 저온 플라즈마에 관해서 [1] 6439
282 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1397
281 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3504
280 RF calibration에 대해 질문드립니다. 5635
279 N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] file 8481
278 the lines of magnetic  induction are frozen into the perfectly conducting material에 대한 질문 [1] file 3972
277 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7421
276 Microwave 장비 관련 질문 [1] 8471
275 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] 7868
274 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] 9067
273 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 6856
272 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6356
271 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 9569
270 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6381
269 Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] 10209
쓰기
태그

Boards

XE Login