안녕하십니까

플라즈마 발생을 억제시킬수 있는 방법은 무엇인지 어쭙고자 글을 올리게 되었습니다.

고주파 유도가열(3MHz)을 이용하여 실리콘(Si)을 가열하여 아르곤 분위기에서 실리콘 결정성장을 시키고 있습니다.

(코일은 팬케이크 형태임.)결정 성장을 시킬때 가끔씩 코일에 플라즈마가 발생하며,이로인해 코일arcing이 가끔 발생하여 코일이

소손되는것 같습니다.

플라즈마 발생을 억제시킬수 있는 방법이 없을지 문의 드립니다.


번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
323 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7629
322 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1267
321 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1399
320 SiO2 식각 위한 Remote Plasma Source관련 질문 드립니다. [1] 5183
319 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] file 5934
318 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 8035
317 모노실란(SiH4) 분해 메카니즘 문의 6045
316 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2469
315 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [1] 3857
314 Ar plasma power/time [1] 1429
313 RPSC 관련 질문입니다. [2] 3968
312 안녕하세요 반도체 공정 중 용어의 개념이 헷갈립니다. [1] 17333
311 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1382
310 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 7157
309 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1923
308 N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] 11293
307 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 4126
306 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 840
305 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1904
304 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 3043

Boards


XE Login