Others 고온 플라즈마 관련

2012.06.04 11:49

몽돌 조회 수:8064

안녕하세요?

배가스의 SOx와 NOx 처리에 저온 플라즈마를 사용하는데 관련된 논문이 있었는데,

그 중에서 Radical 생성이 잘 되지 않아서 문제가 있는 것을 봤습니다.

혹시 고온 플라즈마를 사용하여 Radical 생성을 더 잘 생성시킬 수 있을까요?

만약 고온 플라즈마가 Radical을 더 잘 생성시킬 수 있다면 왜 지금까지 연구하신 분들이 모두 저온 플라즈마를 사용하는 방안을

연구하셨을까요? 거기에 다른 이유가 있나요?

빠른 답변이면 감사하겠습니다.
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [219] 75416
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19150
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56477
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67545
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 89325
288 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1876
287 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2583
286 자료 요청드립니다. [1] 6141
285 ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 16749
284 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3137
283 저온 플라즈마에 관해서 [1] 6434
282 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1396
281 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3502
280 RF calibration에 대해 질문드립니다. 5632
279 N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] file 8480
278 the lines of magnetic  induction are frozen into the perfectly conducting material에 대한 질문 [1] file 3972
277 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7418
276 Microwave 장비 관련 질문 [1] 8468
275 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] 7863
274 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] 9064
273 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 6853
272 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6355
271 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 9568
270 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6381
269 Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] 10204

Boards


XE Login