플라즈마 응용 연구실의 질문방에 오신 것을 환영합니다! 이 Q&A 게시판에는 2004년부터 플라즈마에 대해 받은 질문과 그 대답이 정리되어 있습니다. 이 방대한 자료 속에서 자신에게 필요한 내용을 더 쉽고 빠르게 찾기 위한 방법을 알려드리겠습니다.

 

 

1. 키워드로 검색하기

 

내게 필요한 정보를 빠르게 찾기 위해서는 먼저 검색창을 이용해봅시다.

 

QA 길잡이 1.png

 

 

위 그림과 같이 질문방 화면 좌측 하단에는 돋보기 아이콘이 있습니다. 이 돋보기 아이콘을 클릭하면 다음과 같이 검색창이 나타납니다.

 

QA 길잡이 2.png

 

자신이 궁금한 내용의 핵심 키워드를 이 검색창에 입력하여 검색해보면 자신이 가진 질문과 유사한 질문 및 그에 대한 답변을 찾을 수 있을 것입니다.

 

 

2. 내용으로 찾아보기

 

QA 길잡이 3.png

 

질문방에 들어오면 위 그림과 같이 여러 개의 탭에 따라 질문과 답변이 분류되어 있는 것을 볼 수 있습니다. 여기서 맨 위의 큰 탭 5개가 Plasma in general 부터 Process까지의 대분류 5가지를 나타내고 있습니다. 한 대분류를 클릭했을 때 대분류 아래에 나타나는 작은 탭들은 그 대분류에 속하는 소분류를 나타내고 있습니다. 만약 키워드 검색만으로는 자신에게 필요한 내용을 찾지 못하였다면, 자신의 질문과 관련된 내용이 있는 탭의 게시물들을 읽어보며 자신에게 필요한 내용을 찾아볼 수 있을 것입니다.

 

아래의 표에는 각 대분류 별 소분류 및 세부 분류가 정리되어 있습니다. 이 글의 첨부 파일 QA_분류_정의및설명.pdf에는 각 분류에 대한 상세한 설명과 참고할 만한 자료가 정리되어 있으니, 부디 첨부파일을 내려받아 읽어보시기 바랍니다.

 

연구 또는 궁금증 해결에 도움이 되는 내용을 찾을 수 있기를 바랍니다.

 

QA category 1.png

 

QA category 2.png

 

QA category 3.png

 

QA category 4.png

 

QA category 5.png

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76689
» Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20152
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57159
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68680
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92218
327 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1788
326 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1781
325 터보펌프 에러관련 [1] 1753
324 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1744
323 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1730
322 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 1719
321 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1701
320 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1686
319 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1682
318 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1670
317 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1666
316 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1660
315 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1657
314 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 1641
313 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1604
312 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1602
311 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1596
310 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1594
309 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1559
308 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1533

Boards


XE Login