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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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플라즈마 내에서의 현상
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데포 중 RF VDC DROP 현상
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poly식각을 위한 조언 부탁드립니다.
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CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다.
[3] | 1256 |
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PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다.
[1] | 1243 |
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전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다.
[1] | 1240 |
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Impedence 위상관련 문의..
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dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!!
[1] | 1238 |
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Ar plasma power/time
[1] | 1237 |
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압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다.
[1] | 1235 |
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rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다.
[1] | 1233 |
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CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다.
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MATCHER 발열 문제
[3] | 1222 |
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charge effect에 대해
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플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다....
[1] | 1217 |
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O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다.
[1] | 1211 |
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DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다.
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RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계
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RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다.
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ICP reflecot power 관련 질문드립니다.
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