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공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53083
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64491
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85106
238 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1269
237 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1263
236 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1263
235 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1256
234 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1243
233 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1240
232 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1239
231 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] file 1238
230 Ar plasma power/time [1] 1237
229 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1235
228 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1233
227 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 1228
226 MATCHER 발열 문제 [3] 1222
225 charge effect에 대해 [2] 1221
224 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1217
223 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1211
222 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] 1206
221 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 1194
220 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1190
219 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1175
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