번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76677
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20152
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57151
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68672
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92184
327 RPS를 이용한 NF3와 CF4 Etch Rate 차이 [4] 6235
326 핵융합 질문 [1] 567
325 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 635
324 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1959
323 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7647
322 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1268
321 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1407
320 SiO2 식각 위한 Remote Plasma Source관련 질문 드립니다. [1] 5252
319 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] file 5985
318 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 8109
317 모노실란(SiH4) 분해 메카니즘 문의 6066
316 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2490
315 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [1] 3890
314 Ar plasma power/time [1] 1435
313 RPSC 관련 질문입니다. [2] 4004
312 안녕하세요 반도체 공정 중 용어의 개념이 헷갈립니다. [1] 17427
311 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1386
310 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 7211
309 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1941
308 N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] 11383

Boards


XE Login