안녕하십니까? 저는 대전에 필텍광학이라는 코팅전문회사에 근무하는 이 은석이라고 합니다. 저희는 진공증착(PVD)를 주사업으로 하고 있지만 장래에는 CVD를, 또는 플라즈마를 이용한 코팅을 하려고 노력 중입니다. 제가 궁금한 것은 PMMA 또는 PC(폴리카보네이트)의 금속산화물 증착이 가능하도록 플라즈마 표면개질로 가능한 방법이 있는가? 궁급합니다. 저희는 자체 제작한 플라즈마 장비로  실험을 하고 있는데 기본구조를 소개드리면,
  13.56MHz
  0 - 1500 watt
  3가지 gas를 동시 주입이 가능하고
  2종류의 액상 모노머를 혼입할 수 있도록 만들었습니다.  
  reactor는 대략  1000 x 800 x 650 mm 정도로 판형 전극이 장치되어 있습니다.
산소, 질소, 알콘, 이산화탄소 등의 플라즈마 처리와
실란류들의 플라즈마중합도 해보았는데 부착성에서 시료부착성이 문제가 됩고 있습니다.
강의록 내용중에 암모니아를 이용한 PMMA 표면개질에 대해 간단히 소개되었던데 조금 자세한 설명 좀 부탁드리겠습니다.
또한 이와유사한 경험이 있으신 분의 도움을 받고 싶습니다.
그럼 안녕히 계세요!

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76540
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
323 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1770
322 터보펌프 에러관련 [1] 1737
321 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1734
320 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1716
319 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 1697
318 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1689
317 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1684
316 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1677
315 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1667
314 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1662
313 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1655
312 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1637
311 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1630
310 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 1618
309 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1594
308 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1587
307 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1576
306 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1564
305 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1550
304 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1518

Boards


XE Login