Collision Three body collision process

2004.07.02 11:22

권호철 조회 수:20649 추천:253

================================<질문>=======================================

glow discharge에 대해서 공부하다보니까
recombination부분에서
2-body collision은 불가능하다고 수식을 사용해서 증명이 되었는데 현실적으로 왜 불가능 한지 알고 싶고요
3-body collision의 자세한 설명이 듣고 싶어요.
아직 논문을 찾아보지는 못했지만 몇몇 개의 논문 제목들 중에 있긴 하던데 어떤 특정 원소에 대한 거라든지 어떤 특정 환경을 잡아놓고 쓴듯(아직 읽어보지 않아서 잘은 모르겠습니다)어렵기만 합니다.저는 갓 학부를 졸업한 학생입니다.
자세한 설명 부탁드립니다.

만일 설명이 곤란하다면 관련 서적이라든지 어떠한 레퍼런스에 대한 정보를 알려주신다면 상당히 감사하겠습니다.

================================<답변>=======================================
좋은 질문입니다.
참고서적으로는 아마 지금 읽고 있는
Brian Chapman의 Glow Discharge Process (John Wiley& Sons, 1980)이 좋으며
혹은 M A Lieberman & A J Lichenberg의 Princeples of Plasma Discharge and Materials Processing (John Wiley& Sons 1994)
가 있습니다. 플라즈마를 공부한다고 하면 이 정도의 책은 꼭 보아야
합니다.

이책속에 질문한 사항에 대해서 자세히 나와 있습니다.
결합반응은 일반적인 충돌 현상과 차이가 있다면 두개의 입자가 서로
에너지를 갖고 충돌을 해서 하나의 결합체가 되는 반응이어서
충돌할때 입자가 갖고 오는 에너지가 반응 후에 보존되기 힘듦니다.
일반적으로는 갖고온 에너지를 상대 입자에게 전달해 주거나 받으면
보존되는데 문제가 없겠지만 결합이 된 상태이니 남거나 모자라는
에너지를 보충할 방법이 없습니다. 이같은 경우가 일어나기 위해서는
다른 제3 의 입자가 존재해서 남는 에너지에 대해서 보정을 해
주어야 합니다. 이는 반응기 벽이 되기 쉽고 혹은 압력이 높은 경우는
다른 입자가 대신하기도 하며 또한 photon으로 나오기도 합니다.
어쨋든 이 같은 조건이 형성되어야만 위의 반응이 일어나게 됩니다.
(책의 수식은 이런 내용을 의미하는 것입니다) 따라서 플라즈마 공간 내에서 이온과 전자가 쉽게 재결합을 하지는 않게
됩니다.
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76726
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20179
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57166
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68697
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92275
329 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] 5900
328 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 962
327 RPS를 이용한 NF3와 CF4 Etch Rate 차이 [4] 6246
326 핵융합 질문 [1] 567
325 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 636
324 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1962
323 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7649
322 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1272
321 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1408
320 SiO2 식각 위한 Remote Plasma Source관련 질문 드립니다. [1] 5266
319 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] file 5994
318 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 8131
317 모노실란(SiH4) 분해 메카니즘 문의 6069
316 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2493
315 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [1] 3905
314 Ar plasma power/time [1] 1436
313 RPSC 관련 질문입니다. [2] 4009
312 안녕하세요 반도체 공정 중 용어의 개념이 헷갈립니다. [1] 17444
311 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1388
310 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 7225

Boards


XE Login