Others TMP에 대해 다시 질문 드립니다.

2009.09.27 23:42

서현 조회 수:18003 추천:146

저희 장비에는  TMP컨트롤러가 설치되어 있지 않습니다.
그렇기 때문에 앞서 질문드렸던 것 처럼 정지시까지 3시간 OFF  time을 주고 있습니다.

문제는 이 3시간 입니다.

어떤 사유로 실험을  반복 한다든지 아니면 늦게 시작 한다 든지 ...
이럴 땐  TMP off time 3시간이 정말 길게 느껴지네요...

제가 느끼기에  TMP on또는 off 시 제트엔진 소리가 들립니다.
그리고 실험 과정에서도  챔버와 게이트밸브의 열고 닫음을  제트엔진 소리체크 합니다.

하지만 제트엔진 소리 10분 내에 사라집니다.

그럼 제트 엔진 소리가 들리지 않는다는것은 TMP가 멈추었다는 거 아닌가요???
전원을 내려도 되는 거 아닙니까??

TMP RPM이 0 에 올때까지 얼마나 걸리나요?

그것이 TMP OFF  인데...아무리 생각해도 3시간이란 시간은 너무 긴거 같아서요..

인터넷에서 저희 가 사용하는 TMP 메뉴얼 찾아보고 있는데 상당히 짜증납니다.
3시간 기다리는것도 지겨워 죽겠고...
오늘도 실험실에서  자정을 넘기며~ 글을 남깁니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76683
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20152
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57159
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68679
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92201
327 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1788
326 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1781
325 터보펌프 에러관련 [1] 1753
324 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1744
323 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1730
322 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 1719
321 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1700
320 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1686
319 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1682
318 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1670
317 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1666
316 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1660
315 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1657
314 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 1640
313 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1604
312 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1602
311 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1596
310 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1594
309 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1559
308 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1533

Boards


XE Login