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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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모노실란(SiH4) 분해 메카니즘 문의
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O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다.
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321 |
RPS를 이용한 NF3와 CF4 Etch Rate 차이
[4] | 6200 |
320 |
자료 요청드립니다.
[1] | 6201 |
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Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다.
[2] | 6249 |
318 |
공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제
[2] | 6358 |
317 |
O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154
[1] | 6359 |
316 |
안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다.
[1] | 6381 |
315 |
액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다!
[1] | 6408 |
314 |
플라즈마 기술관련 문의 드립니다
[1] | 6416 |
313 |
O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다.
[1] | 6428 |
312 |
플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의..
[1] | 6452 |
311 |
저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ
[1] | 6463 |
310 |
플라즈마 데미지에 관하여..
[1] | 6483 |
309 |
플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요?
[1] | 6535 |
308 |
안녕하세요, 질문드립니다.
[2] | 6569 |
307 |
저온 플라즈마에 관해서
[1] | 6620 |
306 |
ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다.
[1] | 7062 |
305 |
RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다
[2] | 7157 |
304 |
정전척 isolation 문의 입니다.
[1] | 7589 |
공정 플라즈마와 관련된 강의는 학회 및 교육기관에서 외부인을 대상으로 진행하는 강의를 수강하는 편이 좋을 것 같습니다. 해당 강의0 들은 현업의 사례에서 다루는 플라즈마를 소개할 것입니다. 예전에는 한국기술교육대학에서 정기적인 강의가 있었고 최근에 학회에서 진행되는 강의는 진공학회 (www.kvs.or.kr) 춘계 학술대회 기간 중 (2017년 2월 15일(수) ~ 2월 17일(금)/ 강원도 횡성) 목요일에 "플라즈마 진단" 주제의 기술 심포지움이 있습니다. 참고하세요. 아울러 공정 플라즈마 관련 대학원생들에게 제공된 강의인 PSES-net 플라즈마 교육 프로그램이 올해 진행되면 저희 홈페이지에서 공지를 할 것이 참고하시기 바랍니다.
또한 참고로 추천드릴 교재는 정진욱교수님 역저인 "공정플라즈마 기초와 응용"이 있고, 심화 과정으로는 Principles of plasma discharges and material processings (Lieberman and Lichtenberg) 교재를 권합니다.