ATM Plasma 유전체 플라즈마

2004.06.19 16:54

관리자 조회 수:17556 추천:292

유전체 플라즈마에 관심이 많으시군요. 저희 실험실도 DBD 실험을 하고 있으며 자동차에도 적용할 수 있을 것으로 기대합니다.

질문에서 일반적인 DBD 반응기의 경우 구조가 전극+유전체+공기+유전체+전극의 구조로 되어 있고 그 이유에 대한 궁금증인것 같습니다. 전극 앞의 유전체가 하는 일은 발생한 플라즈마로부터 전극으로 직접 빠져 나가는 전하를 가두고 또한 이차전자를 방출하는 역할을 합니다. 만일 전극 사이에서 플라즈마가 발생되면 전극 사이에 있는 공기는 더 이상 절연성이 높은 유전체가 아닙니다. 오히려 전기 전도도가 좋은 물질, 즉 플라즈마와 공기 개스가 혼재된 상태의 유전 물질로 변하게 됩니다. 따라서 그 특성은 전극 표면의 유전체와는 본질적으로 다른 것입니다. 아울러 전극 간에서 일어나는 break down에 대하여 궁금해 하였는데 저희 강의록을 찾아 보면 Paschen curve에 대한 내용이 있습니다. DC 방전이 일어날 수 있는 조건을 개념적으로 설명해 놓았으니 참고하시기 바랍니다. 다라서 DBD에서 일어나는 방전은 corona 방전과는 달리 넓은 면적에서 방전이 일어나는 특징을 갖아 면방전이라 부르기도 하는 glow 방전의 일종이 됩니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76726
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20173
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57166
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68696
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92275
329 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1793
328 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1792
327 터보펌프 에러관련 [1] 1756
326 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1750
325 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1734
324 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 1729
323 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1703
322 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1688
321 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1683
320 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1676
319 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1668
318 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1660
317 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1660
316 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 1642
315 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1607
314 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1605
313 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1597
312 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1597
311 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1561
310 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1533

Boards


XE Login