Others 형광등으로 부터 플라즈마의 이해

2004.06.21 15:12

관리자 조회 수:17001 추천:270

형광등으로 부터 플라즈마의 이해

플라즈마를 이해하기 위해서 형광들을 이해하려함은 아주 좋은 생각입니다. 형광등은 우리 주변에서 플라즈마 현상을 가장 가까이
서 쉽게 찾을 수 있기 때문입니다. 하지만 여기서의 현상들은 플라즈마의 기본현상을 모두 담고 있기에 이해하기가 그리 쉬운 문제는
아닐 것입니다. 이미 소개된 내용을 참고하여 문제를 좀 더 이해하여 보기 바랍니다.

아울러 한가지 첨부하고자 하는 사항은 형광등 양쪽에 검게 나타나는 부분은 형광등을 시작할 때 사용되는 열전자 방출용 필라멘트
가 sputtering되면서 그 sputtered 물질들이 유리관에 붙어 나타나는 현상입니다. 이는 형광등을 자주 on/off하면 더욱 심하게 되며
아울러 검게 되었다는 말은 filament가 가늘어 졌다는 이야기가 되며, 이렇게 되면 filament의 저항이 점차 크게 되어 쉽게 끊어지게
되어서 형광등의 수명이 다하게 됩니다. 이때의 현상은 implantation (이온이 물질 표면에 주입되는 현상을 의미함으로 이때 요구되는
이온의 에너지는 수 kV이상의 높은 에너지를 요구하게 됩니다.)이라 하지 않고 입사되는 이온에 의한 sputtering에 따른 방출 입자의
표면 흡착, 즉 coating에 해당됩니다. (sputter 항목 참조)
아울러 저희가 현재 사용하고 있는 형광등의 주파수는 60Hz임을 참고하여 현상을 고려해 보길 바랍니다. 형광등이 계속 켜져 있는
것 같은 이유는 우리 눈이 갖고 있는 착시현상에 기인합니다. 또한 일반적인 형광등의 경우 파랑색 파장의 빛의 방츨이 많으므로
삼파장 램프에서는 붉은 빛의 영역이 밚이 보완되어 있습니다. 때론 삼파장 램프를 사용하면 붉은 색 느낌을 많이 받는 이유이기도
합니다.

마지막 질문의 RF플라즈마의 전위에 대해서 질문하였는데 플라즈마 전위는 플라즈마 온도와 밀접한 관계가 있습니다. 플라즈마 온도
에 따라서 자신의 전위가 결정되게 됩니다. 이는
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76726
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20182
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57167
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68698
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92276
329 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1793
328 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1792
327 터보펌프 에러관련 [1] 1756
326 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1751
325 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1736
324 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 1730
323 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1703
322 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1688
321 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1683
320 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1676
319 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1669
318 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1661
317 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1660
316 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 1644
315 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1607
314 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1605
313 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1600
312 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1598
311 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1561
310 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1533

Boards


XE Login