안녕하세요. 한국기계연구원과 전기집진기 관련하여 테스트를 진행중인데,

여기에 플라즈마나 랭뮤어프로브와 유사한 기술이 관련있는 것으로 알고있습니다.

400mm*400mm 사이즈의 2개의 판재가 200mm 간격으로 배열되어있고, 그 중간 지점에 방전침이 있습니다.

방전판과 방전침 사이에 20kV정도 고전압을 인가하면 파란 방전이 약하게 형성됩니다.

X,Y,Z축으로 움직일 수 있는 모션 스테이지 끝부분에 알루미나로 외부를 절연시킨 탐침침을 고정했습니다.

프로브를 밀어넣어 멀티미터로 측정하여 아래 그림와 같은 결과가 나왔습니다.

2018-09-18_093510.png

저는 단순히 멀티미터에 방전판을 공통라인으로 연결하고 프로브에서 측정하였습니다만.

바이어스전압을 인가하여 측정을 해야한다는데, 바이어스전압이 어떤 의미인지? 어떻게 연결하여야하는지 도움을 받고 싶습니다.

현재는 프로브에 반대극성의 고전압을 연결하여 측정하는 방법을 생각중에 있습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76543
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20078
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57116
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91697
303 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7629
302 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] 7695
301 MFP에 대해서.. [1] 7818
300 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] 8023
299 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 8037
298 고온 플라즈마 관련 8090
297 플라즈마 발생 억제 문의 [1] 8114
296 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] 8124
295 Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] 8559
294 핵융합에 대하여 8561
293 Microwave 장비 관련 질문 [1] 8561
292 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 8568
291 Lecture를 들을 수 없나요? [1] 8575
290 N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] file 8601
289 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] 8660
288 수중플라즈마에 대해 [1] 8720
287 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] 8904
286 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] 8957
285 안녕하세요 교수님. [1] 8994
284 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] 9196

Boards


XE Login