교수님 안녕하십니까, 저희는 한국항공대에 재학하고 있는 학생들입니다.

현재 DBDs 를 활용하여 유동제어 하는 곳에 사용하는 것을 목적으로 기초지식을 이해하고 있는 중에 궁금증이 많은데,

기계공학과이다보니 전기공학분야로는 문외한이라 이렇게 질문을 드립니다.


1. DBDs 를 통한 유동제어에서 유동을 생성하는 주요한 인자가 양이온의 크기로 인한 공기중의 분자와 충돌인지, 혹은 전자의 가볍고 빠른 충돌로 인한 에너지 전달로써 공기중의 분자를 이동시키는 것인지 궁금합니다.

2. 또한 DC를 사용하여도 플라즈마가 생성되는 것으로 알고 있는데, DBDs는 왜 DC를 사용하지 않고 AC를 사용하는지? 궁금합니다. (DC를 사용해도 유동방향이 생기는데, 왜 AC를 사용하는 것인지 궁금합니다.)  (여기서, 저희가 DC를 사용하는 것이 계속적으로 전력을 공급하면 열에너지에 의해서 아크방전 영역으로 발전하여 방전이 유지되지 않기 때문에 AC를 사용하는 것이라 추측하였는데, 이것이 맞는 가정인지도 궁금합니다.)

3. DBDs 에서 유전체를 사용하는데, 유전체를 이용하면 유동바람을 생성하는데 많은 장점이 있는 건가요?


너무 기초적인 질문이라 답변하시기 귀찮으실 것 같다는 생각도 드는데..저희가 약 한달간 공부했는데, 정확한 이유를 알지 못하는 부분입니다. 꼭 부탁드립니다 ㅠㅠ

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
303 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1485
302 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1477
301 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1475
300 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1471
299 plasma 형성 관계 [1] 1464
298 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1456
297 charge effect에 대해 [2] 1454
296 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1452
295 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1450
294 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1449
293 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1448
292 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1445
291 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1442
290 알고싶습니다 [1] 1438
289 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1437
288 Ar plasma power/time [1] 1429
287 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1426
286 MATCHER 발열 문제 [3] 1425
285 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] 1417
284 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1413

Boards


XE Login