ICP 플라즈마가 불안정한대요..

2004.06.25 16:43

관리자 조회 수:24516 추천:286

질문 ::

planar ICP를 만들면서 (아직 완성 못 했슴) 조그만 helical coil ICP(유리관 주위로 코일 감음)를 만들어 플라즈마를 생성시켜 봤습니다. 그런데 플라즈마가 안정하지가 않고 세졌다 약해졌다 (reflected power가 거의 0%에서 대충 80~90% 가까이까지 왔다갔다 합니다.)를 반복합니다. 제가 체크해볼 수 있는 사항에는 어떤 것들이 있을까요?
그럼 다시 감사드리며.. 새해 복 많이 받으십시요.

답변 ::

압력과 전력을 낮추고 플라즈마를 좀 더 오랜시간을 켜 놓으세요.
플라즈마도 새로운 환경에 적응하려면 시간이 걸립니다.

이 게시물을
수정 삭제 목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76726
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20181
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57167
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68698
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92276
309 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1953
308 N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] 11411
307 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 4178
306 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 845
305 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1911
304 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 3052
303 Dry Etching Uniformity 개선 방법 [2] 4269
302 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 1220
301 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1848
300 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1683
299 DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [2] 3804
298 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 3162
297 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. 9842
296 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 8643
295 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] 1330
294 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1810
293 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2236
292 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] 1395
291 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2891
290 수중 방전 관련 질문입니다. [1] 9665
쓰기
태그

Boards

XE Login