Matcher MATCHING NETWORK 에서 BACKWARD BIAS 가 생성되는 이유가 무엇 입니까?

2008.10.23 12:22

바람그만필께 조회 수:22571 추천:425

안녕하세요.

삼성전자 반도체 사업장에서 일하는 DIFF PROCESS ENG'R 입니다.

얼마 전에 사내 PLASMA 강의를 듣고 사이트를 알게 되었습니다.

M.N. (Matching Network) 에서 R.F 인가시 Backword bias 가 걸리는 이유가 알고 싶습니다.

SLEF BIAS 하고 연관이 있는 건지요?

SELF BIAS 가 걸린 것이 Backword bias 처럼 보이는 건지 실질적으로 Backword Bias 가 형성되는  건지 알고 싶습니다.

대학에서 재료공학을 전공해서 전자공학에 대해 무지합니다.

교수님의 답변 기다리겠습니다.

감기 조심하시고 건강하세요...

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76542
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20078
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57116
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91697
303 Dry Etching Uniformity 개선 방법 [2] 4244
302 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 1205
301 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1831
300 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1677
299 DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [2] 3764
298 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 3146
297 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. 9841
296 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 8568
295 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] 1322
294 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1793
293 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2226
292 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] 1391
291 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2880
290 수중 방전 관련 질문입니다. [1] 9654
289 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2164
288 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1947
287 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2675
286 자료 요청드립니다. [1] 6202
285 ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 16899
284 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3163

Boards


XE Login