Chamber Impedance 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련

2010.05.05 13:56

강철호 조회 수:27208 추천:167

안녕하십니까?
저는 RF관련한 챔버,매칭박스,제네레이터 관련한 업무를 시작하게된 강철호라고 합니다,
공정 진행중 여러가지 원인에 의한 챔버의 임피던스 변화를 RF 제네레이터와 매칭 시키기 위해 매칭 박스를
이용한는 것으로 알고 있습니다..
여기서 질문입니다.
챔버의 임피던스가 변한다는것이  임피던스가 증가하는것인지,감소하는 것인지, 또는 2가지 경우가  랜덤하게
진행 되는 것인지 궁굼합니다..
만약 임피던스가 증가한다면 매칭박스가 어떤 원리로 매칭박스+챔버의 임피던스를 50Ω 으로 매칭할수 있는지
모르겠습니다.
너무 기초적인 지식이 없어 열심히 공부하려고 하니  성의 있는 답변 부탁드립니다

이 게시물을
수정 삭제 목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76712
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20168
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57164
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68690
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92261
308 N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] 11400
307 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 4175
306 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 845
305 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1910
304 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 3052
303 Dry Etching Uniformity 개선 방법 [2] 4266
302 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 1220
301 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1846
300 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1682
299 DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [2] 3802
298 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 3162
297 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. 9842
296 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 8639
295 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] 1330
294 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1808
293 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2235
292 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] 1393
291 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2889
290 수중 방전 관련 질문입니다. [1] 9663
289 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2173
쓰기
태그

Boards

XE Login