ATM Plasma 대기압 플라즈마

2011.03.20 23:03

김기수 조회 수:40701

안녕하세요
대기압 플라즈마 장비를 관리를 하는데
세라믹에 아크가 발생하여
세라믹이 구멍이 나면서 크랙이 갑니다.
원인을 자세히 설명 부탁드립니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76670
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20149
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57149
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68669
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92160
307 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 4159
306 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 842
305 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1907
304 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 3051
303 Dry Etching Uniformity 개선 방법 [2] 4263
302 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 1217
301 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1840
300 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1682
299 DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [2] 3793
298 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 3158
297 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. 9842
296 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 8629
295 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] 1330
294 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1804
293 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2234
292 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] 1393
291 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2888
290 수중 방전 관련 질문입니다. [1] 9660
289 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2171
288 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1948

Boards


XE Login